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上海青銳真空設備有限公司

Shanghai Qing Rui Vacuum Equipment Co., Ltd.

Integro? 射頻發生器

RF 射頻電源系統

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<p><span style="color: rgb(83, 87, 90); font-family: Arial, sans-serif;">經濟型 Integro? 射頻發生器在很小的體積內結合了一個 13.56MHz、600W 的射頻發生器和一個自動匹配網絡。這節約了寶貴的空間并使得整合變得更容易。它支持的功能包括：脈沖模式、CEX 操作以及多種保護功能。</span></p>
Hilight? 射頻發生器（13.56Mhz,600W）

RF 射頻電源系統

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<p>針對低功率、載行應用，HiLight 系列射頻發生器小巧、輕便，擁有空冷式設計，專門設計為需要現場安裝在非傳統19英寸的機架型。</p>
Cesar? 射頻發生器

RF 射頻電源系統

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<p>強大而多功能的 Cesar? 平臺可提供非常穩定的射頻功率輸送性能，以及一個多樣化的模式選擇，每種模式都具有一套獨特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；擁有多種用戶界面和輸入選擇），從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的組件——而無需定制發生器所需的漫長交付期。 </p><p><br/></p><p>高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品生命周期均實現最優化，從而使您的投資和制程生產力得到最大化的利用。一個全面而高度靈敏的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上找到，并顯示在一個大的液晶顯示屏上）帶來了無與倫比的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓成本最小化。</p><p><br/></p>
Apex? RF 供電系統

RF 射頻電源系統

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<p>通用 Apex? 系列射頻電源和供電系統采用復雜的射頻轉換技術，在適合于真空室安裝的模塊化設計中提供增大的產品和工藝可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或數據存儲制造以等離子為基礎的薄膜工藝中表現優異。</p>
GenCal?

RF 射頻電源系統

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<p>GenCal? 系統提供在等離子工藝行業常用的離散頻率下業界領先的測量準確性，以及與 AE 獲得研發大獎的等離子阻抗傳感器所使用的相同的尖端混合動力傳感器技術。這項經過優化的技術在有高諧波含量和噪聲等離子產生信號的情況下，能夠以目前其它功率測量儀器所無法實現的準確率進行測量。</p>
Navigator? 數字阻抗匹配網絡

RF 射頻電源系統

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<p>多功能 Navigator? 匹配網絡的先進技術能在多種負載阻抗下（從15W 至 30kW）進行快速、準確而可靠的匹配。該匹配網絡配備了微處理器控制步進馬達電路和用戶可選數字調諧算法，使它能提供較傳統模擬調諧法更高的一致性和精確性。這也使得它可以優化半導體、太陽能、FPD 以及 MEMs工藝流程（包括蝕刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔體清洗應用）的輸送過程功率。一個可選的內部 Z'Scan? 射頻傳感器可提供對過程功率和阻抗的實時測量和分析，從而使您能夠發現并顯著降低制程變化性。此外，可選的虛擬前面板 (VFP) 軟件使您能夠通過一臺個人計算機來監視并控制匹配網絡。</p>

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