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Apex? RF 供電系統

通用 Apex? 系列射頻電源和供電系統采用復雜的射頻轉換技術,在適合于真空室安裝的模塊化設計中提供增大的產品和工藝可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或數據存儲制造以等離子為基礎的薄膜工藝中表現優異。

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通用 Apex? 系列射頻電源和供電系統采用復雜的射頻轉換技術,在適合于真空室安裝的模塊化設計中提供增大的產品和工藝可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或數據存儲制造以等離子為基礎的薄膜工藝中表現優異。


通用 Apex? 系列射頻電源和供電系統采用復雜的射頻轉換技術,在適合于真空室安裝的模塊化設計中提供增大的產品和工藝可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或數據存儲制造以等離子為基礎的薄膜工藝中表現優異。

優勢
更高的功率密度
更好的工藝靈活性
產量提高
持有成本降低
簡化工藝工具整合
靈活的通信

特點
簡化的設計
真空室安裝、框架安裝、支架安裝和鞋盒式 (shoebox) 選擇
寬帶控制回路和可選的高重復率脈沖
業界領先的弧管理
符合監管要求

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