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Pinnacle? Plus+

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle? Plus+ 電源為單體直流脈沖電源,為您的反應工藝提供脈沖直流電解決方案所有優點,包括使用簡單、節約成本以及具有絕佳的靈活性。結合標準直流電技術和經過工藝證明的脈沖直流電技術,Pinnacle Plus+ 電源與復雜而昂貴的交流電解決方案相比,沉積率更高,重復性能更好,薄膜質量更為優異

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Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle? Plus+ 電源為單體直流脈沖電源,為您的反應工藝提供脈沖直流電解決方案所有優點,包括使用簡單、節約成本以及具有絕佳的靈活性。結合標準直流電技術和經過工藝證明的脈沖直流電技術,Pinnacle Plus+ 電源與復雜而昂貴的交流電解決方案相比,沉積率更高,重復性能更好,薄膜質量更為優異


Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle? Plus+ 電源為單體直流脈沖電源,為您的反應工藝提供脈沖直流電解決方案所有優點,包括使用簡單、節約成本以及具有絕佳的靈活性。結合標準直流電技術和經過工藝證明的脈沖直流電技術,Pinnacle Plus+ 電源與復雜而昂貴的交流電解決方案相比,沉積率更高,重復性能更好,薄膜質量更為優異。

優勢
更高的沉積率與產品率
薄膜均勻性和品質一流 
成弧造成的基材損壞減少 
成本更低
系統整合容易
極佳的工藝靈活性和寬容度
重復性能
在過度曲線上運行穩定
吞吐量更高
便于監控
無與倫比的系統靈活性

特點
一個緊湊型封裝
頻率調節范圍為 5-350kHz
占空比高達45%
電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍 
大功率運行
基材溫度低
單輸出(5kW 和 10kW 型號)
用于雙陰極生產的雙輸出(雙路5kW 型號)
絕佳的弧控制
反應性濺射閉環控制



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