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Pinnacle? 3000

Advanced Energy 的 Pinnacle? 3000 直流電源提供最高的效率和功率因素,從而帶來業界最低的運行和安裝成本。 Pinnacle 工藝一致性和控制帶來的額外好處是使在正常濺射工藝和偏壓應用中的工藝變化明顯減少、產量提高。

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Advanced Energy 的 Pinnacle? 3000 直流電源提供最高的效率和功率因素,從而帶來業界最低的運行和安裝成本。 Pinnacle 工藝一致性和控制帶來的額外好處是使在正常濺射工藝和偏壓應用中的工藝變化明顯減少、產量提高。


Advanced Energy 的 Pinnacle? 3000 直流電源提供最高的效率和功率因素,從而帶來業界最低的運行和安裝成本。 Pinnacle 工藝一致性和控制帶來的額外好處是使在正常濺射工藝和偏壓應用中的工藝變化明顯減少、產量提高。

優勢
經過證明的 Pinnacle 性能和可靠性
最大的工藝效率——最低的運行和安裝成本
通用性——在濺射工藝和偏壓應用上均表現出色
快速、可配置的弧反應——弧損傷少
精確的工藝控制
多種顯示/控制選擇
符合安全/輻射標準

特點
業界最高的效率和功率因素 
緊湊——在一個 2-U、1/2支架封裝中,功率達 3000W
單輸出抽頭,疲憊范圍廣泛
Profibus 和 RS-232 串行通信
靶材處理時間——最大限度地縮短新靶材的處理時間
僅400 VAC 輸入
存儲能量低——每千瓦輸出不到6 mJ
在大于15%的功率下,輸出重復性為±0.1%
Joule 模式——最優化的能量傳送
對輸出電平、擊穿電壓和工藝電壓的可編程限制
儲存設定自動保存
有 CE 標志



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